无尘室工程(CleanRoom)，亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。没有无尘室，污染敏感零件不可能批量生产。在FED-STD-2里面，无尘室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房

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中的悬浮物质是颗粒直径约在10-4mm以上的微粒，肉眼可见这些微粒主要由泥沙、粘土、原生物、藻类、细菌、病毒、以及高分子有机物等组成，常常浮于水流中导致水质浑浊.前过滤系列利用石英砂、无烟煤滤料、锰砂